真空系統(tǒng)設備經(jīng)過設計選型等步驟，后才進入到安裝上馬階段。雖然前面有層層的檢漏等工作把關，但在這個環(huán)節(jié)仍舊需要做好一些準備工作與注意事項

真空泵、真空系統(tǒng)安裝前，各種零件都應該經(jīng)過清潔處理，去除零件在加工、儲藏等過程中沾染的油類、污垢、焊藥等雜質(zhì)，避免安裝后給真空系統(tǒng)內(nèi)部造成氣源。其方法一般是用去污粉去污并且用熱水洗凈，后用熱風吹干并用有機溶劑擦凈。

其次是安裝前的零件檢漏工作。在安裝前對真真空泵、空系統(tǒng)的各部分零件進行檢漏，及時剔除有漏孔的零件，避免將有漏孔的零件組裝到真空系統(tǒng)上為后期的調(diào)試帶來不必要的麻煩。

第三，檢查真空閥門等元件的性能是否滿足設計時的要求。

第四，按電氣圖檢查電路是否完整，開關是否指于斷路的位置，有關測試儀表是否處于零點的位置，地線是否接地，操作是否安全等。

第五，真空系統(tǒng)安裝過程中的檢漏。真空系統(tǒng)在安裝調(diào)試過程中的檢漏是真空檢漏工作的主體。因此安裝過程必須與檢漏相結合。如現(xiàn)場多真空泵串聯(lián)安裝，先將機械泵安裝好并抽氣，達到真空度后再安裝主泵，而不能將系統(tǒng)全部安裝完再進行檢漏。否則一旦有漏氣現(xiàn)象，將給安裝工作帶來麻煩。同時安裝時要注意靜密封法蘭處的橡膠圈和法蘭密封面是否有劃痕，以防安裝后產(chǎn)生漏氣。

真空系統(tǒng)安裝完成后再進行空載調(diào)試以及工藝生產(chǎn)過程中的調(diào)試。